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A flexible single-step 3D nanolithography approach via local anodic oxidation : theoretical and experimental studies
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Art
Thesis
1
Ressourcentyp
Doctoral thesis
1
Schöpfer
Gao, Jian
[remove]
1
Mitwirkender
Luo, Xichun
1
Abteilung, Schule oder Fakultät
Department of Design, Manufacturing and Engineering Management
1
Datum
2023
1
