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Microactuators and their application in micro-opto-electro-mechanical systems (MOEMS)
Schöpfer:
Li, Lijie
Datum:
2004
Department, School or Faculty:
Department of Electronic and Electrical Engineering
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Art
Thesis
1
Ressourcentyp
Doctoral thesis
1
Schöpfer
Li, Lijie
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1
Abteilung, Schule oder Fakultät
Department of Electronic and Electrical Engineering
1
Datum
2004
1